Слово «робототехника» было впервые использовано в печати Айзеком Азимовым в научно-фантастическом рассказе «Лжец», опубликованном в 1941 г.

В основу слова «робототехника» легло слово «робот», придуманное в 1920 г. чешским писателем Карелом Чапеком для своей научно-фантастической пьесы «Р. У. Р.» («Россумские универсальные роботы»), впервые поставленной в 1921 г. и пользовавшейся успехом у зрителей. В ней хозяин завода налаживает выпуск множества андроидов, которые сначала работают без отдыха, но потом восстают и губят своих создателей.

Впрочем, некоторые идеи, положенные позднее в основу робототехники, появились ещё в античную эпоху — задолго до введения перечисленных выше терминов. Так, в «Илиаде» Гомера говорится, что бог Гефест сделал из золота говорящих служанок, придав им разум (т.е. — на современном языке — искусственный интеллект) и силу. Древнегреческому механику и инженеру Архиту Тарентскому приписывают создание механического голубя, способного летать (ок. 400 г. до н. э.). Множество подобных сведений содержится в книге«Робототехника: История и перспективы» И. М. Макарова и Ю. И. Топчеева, представляющей собой популярный и обстоятельный рассказ о роли, которую сыграли (и ещё сыграют) роботы в истории развития цивилизации.

В 1954 году Джордж Девол разработал первый в мире программируемый робот-манипулятор. Система, впоследствии получившая название Unimate (Юнимейт), была запатентована в 1961 году. Год спустя американская компания General Motors впервые использовала робот-манипулятор для выполнения многократно повторяемых технологических оперций на одном из своих заводов. Система Unimate изначально применялось для работы с литыми металлическими деталями, которые робот извлекал из отливочных форм в горячем состоянии. Чуть позже разработку оценили автопроизводители Chrysler и Ford, а затем и весь промышленный мир.